雑音平滑化アルゴリズムの検討 : AESにおける測定パラメータ (III)
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概要
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A noise-smoothing program with the Savitzky-Golay algorism was applied to the simulation of signal intensity in Auger electron spectroscopy. Differentiated Gaussian distribution was used as an example of a differential Auger electron spectrum of <I>dN</I>/<I>dE</I>. The orders of the algorism used were 1-st, 2·3-rd, and 4·5-th, and the number of the sampling points were up to 25 points. The errors arising from adopted sampling periods and the number of the sampling points were evaluated in conjunction with the improvements of the signal to noise ratio. The higher-order algorism shows fairly improved characteristics irrespective of the number of the sampling points.
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