液体ガリウムイオン源と走査型イオンマイクロビーム
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概要
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Emission characteristics, such as ion current vs. voltage relationships, ion emission angle, ion current fluctuation, temperature effect, and mass analysis, are measured for a hydrodynamic (EHD) liquid-gallium ion source. A scanning ion microprobe system using a liquid-gallium ion source and a voltage asymmetric three-electrode lens is developed. It produces 2-20 keV Ga<SUP>+</SUP> beams of 0.1-5 μm diameter with 20 pA-8nA current. This ion optical system is well suited for variable-energy microprobe applications.
- 日本真空協会の論文
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