ZnO<SUB>x</SUB>薄膜のSAWデバイス,透明導電膜への応用

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概要

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• Zinc oxide thin films were well known to grow parallel to the C-axis, a (002) oriented film, on various substrates. To utilize for the SAW (Surface Acoustic Wave) devices, a (110) textured and high resistivity films are necessary. By considering the binding style, the (110) oriented film devices could be obtained. In this paper, the resistivity controlling of ZnO films having the controlled texture to apply for the SAW filter and the transparent conducting film is discussed.

著者

• 藤村 紀文

  大阪府立大学大学院工学研究科電子・数物系専攻

• 伊藤 太一郎

  大阪府立大学大学院工学研究科

• 伊藤 太一郎

  大阪府立大学工学部

• 藤村 紀文

  大阪府立大学大学院工学研究科

• 西原 時弘

  大阪府立大学大学院

• 後藤 清毅

  大阪府立大学学生

• 伊藤 太一郎

  大阪府立大学 工学部

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