金属とSiの固相反応--シリサイドの形成

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概要

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著者

• 藤村 紀文

  大阪府立大学大学院工学研究科電子・数物系専攻

• 伊藤 太一郎

  大府大院工

• 伊藤 太一郎

  阪府大工

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