Vibrational Modes in Raman and Infrared Spectra of Amorphous Silicon. Ⅱ. Si-O, Si-Cl, Si-B, and Si-p Bonds
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概要
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The vibrational modes related to impurity atoms incorporated into hydrogenated amorphous silicon (α－Si:H) are presented. In this paper, infrared studies on four ternary alloys α－Si: H:X (X=O, Cl, B, P) are surveyed, and the most probable frequencies and their origins of the vibrations are summarized. From the studies on α－Si:H:O in which oxygen is intentionally added, we discuss four oxygen-related absorptions. The modes induced by chlorine, which can act as a dangling bond terminator, are determined by the chlorinated α－Si:H. Finally, the doping effects of boron and phosphorus, the two standard dopants, on the vibrational properties are described.
- 津山工業高等専門学校の論文
- 1986-01-31
著者
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