非線形MEMS共振器を用いたメモリの読出しおよび書込み操作に関する一検討
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概要
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MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)デバイスの1つであるMEMS共振器が周波数応答にヒステリシス特性を有する場合,強制励振下で,2種類の安定周期振動が生じる.Badzeyらはこの2種類の安定周期振動を有する非線形MEMS共振器を,機械的な1ビットのメモリ素子として使用することを提案した.本報告ではこの提案を受け,非線形MEMS共振器を用いたメモリの読出し操作を意味する2種類の安定周期振動の変位測定を,共振器の櫛歯電極のキャパシタに流れる電流測定により実現する.さらに,この変位測定の結果を用いて,メモリの書込み操作である安定周期振動問の切り替えを検討する.
- 2012-04-12
著者
-
引原 隆士
京都大学大学院・工学研究科・電気工学専攻
-
引原 隆士
関西大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
引原 隆士
関西大学工学部電気工学科
-
八尾 惇
京都大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
引原 隆土
京都大学 大学院 工学研究科電気工学専攻
-
引原 隆士
京都大学 大学院 工学研究科 電気工学専攻
-
引原 隆士
京都大学大学院工学研究科電気工学教室
-
引原 隆士
京都大学大学院 工学研究科 電気工学専攻
-
引原 隆士
関西大
-
引原 隆士
京都大学大学院 工学研究科
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