非線形MEMS共振器の共存解切り替えに関する一検討
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概要
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近年注目を集めているMEMS(Micro Electro Mechanical Systems)デバイスのひとつとして,MEMS共振器がある.Unterreithmeierらは,応答曲線にヒステリシス特性を有する両持ち梁のMEMS共振器において,駆動周波数を一定に保ったまま共存解を切り替えることが可能であることを示した.本報告では,この結果を受け,共振器における共存解の切り替えに時間遅れ入力を用いたフィードバック制御を適用することを検討する.まず,数値計算によりその制御の可能性について確認する.さらに,実験において検証するために,ヒステリシス特性を有するMEMS共振器を作製し,その特性を得た.これらについてまとめる.
- 2011-03-03
著者
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引原 隆士
京都大学大学院・工学研究科・電気工学専攻
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引原 隆士
関西大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
引原 隆士
京都大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
八尾 惇
京都大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
ナイク スケト
京都大学大学院工学研究科電気工学専攻
-
引原 隆土
京都大学 大学院 工学研究科電気工学専攻
-
引原 隆士
京都大学大学院 工学研究科 電気工学専攻
-
引原 隆士
京都大学大学院 工学研究科
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