PS7 RFマグネトロンスパッタリング法による生体適合圧電材料MgSiO_3薄膜の創製条件探索(フェロー賞対象ポスターセッション)
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概要
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Biocompatible piezoelectric materials are becoming increasingly important for actuators and sensors in medical devices such as Bio-MEMS. In this study, a biocompatible piezoelectric MgSiO_3 thin film, which was discovered through first principles calculation, has been fabricated on Cu substrate by RF magnetron sputtering method. The experimental design method was employed to fmd optimum sputtering condition. Then, the crystal structure of the fabricated MgSiO_3 thin film was analyzed with x-ray diffraction (XRD).
- 2010-10-09
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