20pHT-3 レーザー3次元アトムプローブによるMOS構造中ドーパントの不均一分布の解明(20pHT 若手奨励賞受賞記念講演(若手奨励賞),領域10(誘電体,格子欠陥,X線・粒子線,フォノン))

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概要

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• 2010-03-01

著者

• 井上 耕治

  京大院工

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