1010 薄膜技術の密着力信頼性評価について(表面改質による機械の高性能化)
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概要
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The use of a hard thin film is advanced by a recent automotive field. However, adhesion strength of a hard thin film is related directly at the product-life cycle. Adhesion was evaluated from the analysis of the destruction phenomenon on the interface between film with the machine of Nano-indentar hardness examination instrument. As a result, it was able to be confirmed that SEM in the film section was observed, and the destruction of the interface by the minimum pushing examination related to adhesion.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-09-28
著者
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