115 超微細塑性加工を利用した微細複合構造の作成(材料の超精密加工とマイクロ/ナノ加工の動向)
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概要
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This paper reports a new fabrication process for micro composite structure by combination of nano plastic forming, coating and polishing technologies. The nano plastic forming is possible to fabricate smaller structures on the surface of various materials than 1μm without using lithography process. The fabricates small structures are filled with metallic material by using coating technology, and excessive coated layer is removed by polishing. This process is tested on various kinds of micro composite structures.
- 社団法人日本機械学会の論文
- 2007-11-16
著者
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