404 硬脆機能材料の微細押し込み加工
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概要
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This paper reports ultra fine plastic forming of hard brittle materials. Soda glass, quartz glass, quartz and silicon were examined by a nano indentation tester specially designed for this study. SEM observation showed that soda glass is available for ductile plastic deformation up to 300nm in depth. On the other hand, quartz is so brittle that all indentation traces caused cracks. Then, effects of deformation overlap were studied. When distance between traces was so small that plastic deformation zone overlaped each other, the traces were cracked even though their indentation depth was smaller than the limit of ductile deformation, Deformation by a lattice pattern indentation was also examined.
- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2002-11-19
著者
-
吉野 雅彦
東京工業大学理工学研究科
-
吉野 雅彦
東京工業大学院
-
吉野 雅彦
東京工業大学 機械制御システム専攻
-
藤井 信行
東京工業大学大学院機械制御システム専攻
-
藤井 信行
東京工業大学院
-
吉野 雅彦
東京工業大学
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