サーマルダメージフリーTMRヘッド
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概要
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We have developed a way of making TMR heads that are free from thermal damage. We found that during the annealing stage in the write head process the resistance area (RA) product increased and the magnetoresistance ratio (MR) decreased. This degradation depended on the kind of insulator material on both sides of the TMR junction. Because Al_2O_3 has a relatively high Gibbs free energy, it suppressed the degradation, and thus oxidation at the sensor edge caused less thermal damage. To prevent thermal damage, we developed a TMR head with a Damascene coil process in the write head. It showed no degradation after the write head process, and, furthermore, had good readback performance.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2008-01-01
著者
-
目黒 賢一
(株)日立製作所中央研究所
-
芳田 伸雄
(株)日立製作所中央研究所
-
新谷 拓
(株)日立製作所中央研究所
-
渡邉 克朗
(株)日立製作所 中央研究所
-
江藤 公俊
(株)日立製作所中央研究所
-
幡谷 昌彦
(株)日立製作所 中央研究所
-
江藤 公俊
(株)日立製作所 中央研究所
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渡辺 克朗
(株)日立製作所 中央研究所
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芳田 伸雄
(株)日立製作所
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新谷 拓
(株)日立製作所 中央研究所
-
芳田 伸雄
(株)日立製作所 中央研究所
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目黒 賢一
(株)日立製作所 中央研究所
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