イオンミリング法を用いた垂直記録用単磁極ヘッドの作製
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概要
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Investigation of the processes conventionally used for fabricating perpendicular recording heads indicated that using a trapezoidal main pole for single-pole heads would solve the side write/erase problem between adjacent tracks. We developed a process that uses ion milling and an alumina hard mask for sputtering, and we used the process to fabricate a narrow (120-nm wide) trapezoidal main pole. The beveled angles of the pole depended on both throat height and angle at the flare point. When the angle was 90°, the beveled angles of the trapezoid were about 10°. Evaluation data confirmed that perpendicular recording heads with a trapezoidal main pole solved the side write/erase problem.
- 社団法人日本磁気学会の論文
- 2004-07-01
著者
-
岡田 智弘
(株)日立製作所
-
府山 盛明
(株)日立製作所
-
芳田 伸雄
(株)日立製作所中央研究所
-
木村 久志
(株)日立製作所ストレージテクノロジー研究センタ
-
江藤 公俊
(株)日立製作所中央研究所
-
布川 功
(株)日立製作所中央研究所
-
木村 久志
(株)日立製作所
-
江藤 公俊
(株)日立製作所 中央研究所
-
芳田 伸雄
(株)日立製作所
-
江藤 公俊
日立製作所, ストレージ・テクノロジー研究センタ
-
芳田 伸雄
(株)日立製作所 中央研究所
-
布川 功
(株)日立製作所
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