615 基板効果を考慮した薄膜押込荷重係数の関数(材料特性,OS01 電子デバイス・電子材料と計算力学)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-11-02
著者
-
千葉 矩正
防衛大
-
千葉 矩正
防衛大学校機械工学科
-
Chen Xi
Columbia Univ.
-
小笠原 永久
防衛大
-
Chen Xi
コロンビア大
-
ANGHEL Constantin
防衛大学校理工学研究科
-
小笠原 永久
防衛大学校
-
千葉 矩正
防衛大学校システム工学群
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