310 薄膜/基板への押込みに及ぼす基板材弾性異方性の影響(OS2-2 皮膜・薄膜の機械的特性,OS2 薄膜・皮膜とその膜構造の特性評価)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2007-10-24

著者

• 千葉 矩正

  防衛大

• Chen Xi

  Columbia Univ.

• 小笠原 永久

  防衛大

• Chen Xi

  コロンビア大

• 大堀 雄太

  防衛大

• 白戸 和規

  防衛大

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