614 薄膜の機械的特性評価における限界押込深さ(材料特性,OS01 電子デバイス・電子材料と計算力学)

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概要

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• 一般社団法人日本機械学会の論文
• 2006-11-02

著者

• 千葉 矩正

  防衛大

• Chen Xi

  Columbia Univ.

• 小笠原 永久

  防衛大

• Chen Xi

  コロンビア大

• ANGHEL Constantin

  防衛大学校理工学研究科

• 神戸 健輔

  防衛大

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