219 Ar/Air作動ガスを用いた大気熱プラズマCVDによるZnO薄膜の形成(成膜・表面処理)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2006-09-08
著者
-
安藤 康高
足利工業大学
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安藤 康高
足利工業大学 工学部 機械工学科
-
野村 明広
足利工大
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戸部 省吾
足利工業大学 工学部 機械工学科
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戸部 省吾
足利工大
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安藤 康高
足利工大
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星野 将利
足利工大
-
戸部 省吾
足利工業大学
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