旋回流エアプラズマを用いた大気熱プラズマCVDによる酸化チタン皮膜の高速合成

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概要

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著者

• 小林 明

  大阪大学接合科学研究所

• 安藤 康高

  足利工業大学

• 安藤 康高

  足利工業大学 工学部 機械工学科

• 小林 明

  大阪大学

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