10-5 AES及びXPSによるac-PDP保護層材料(MgAl_2O_4)蒸着膜表面分析
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概要
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MgAl_2O_4 is expected as a suitable protecting material for Transmissive and Reflective Phosphor Type ac-Plasma Displays, because MgAl_2O_4 has transmissive property for ultra violet rays. We analyzed thin film MgAl_2O_4 and MgO by using AES and XPS. AES analysis clarifies oxygen defects in the vacuum evaporated thin films of MgO and MgAl_2O_4. XPS analysis shows the difference in the peak of Mg2p between MgAl_2O_4 and MgO.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2001-08-27
著者
-
内池 平樹
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
張 書秀
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
平川 貴義
佐賀大学大学院工学系研究科
-
後藤 貞浩
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
平川 貴義
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
内池 平樹
佐賀大学理工学部
-
後藤 貞浩
パイオニア株式会社研究開発本部PDP開発センター第一開発部
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