ac形プラズマディスプレイ用保護層材料に関する研究(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)
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概要
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ac形プラズマディスプレイ用保護層材料として用いられているMgO薄膜に対する評価法はイオン衝撃による二次電子放出比(γ_i)の測定が唯一の方法として用いられてきた。γ_i測定に加えて保護層に対する新しい分析手法が確立されることにより多くの情報を得ることができ、詳細な分析をおこなうことが可能になる。そのため我々はカソードルミネセンス(CL)によるMgO薄膜の分析をおこない、保護層の評価手法としての可能性について検討した。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2005-01-21
著者
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