ac形PDP保護層作成条件に関する研究
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概要
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ac型プラズマディスプレイ(ac-PDP)の保護層材料には酸化マグネシウム(MgO)が用いられている.本研究では,MgO保護層を作成する際,酸素を導入しながら蒸着をおこない,蒸着時の酸素導入がMgO薄膜の性質にどのような影響を及ぼすのか,またその影響の要因を見出す為の分析をおこなった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-11-15
著者
-
内池 平樹
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
張 書秀
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
平川 貴義
佐賀大学大学院工学系研究科
-
後藤 貞浩
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
平川 貴義
佐賀大学理工学部電気電子工学科
-
内池 平樹
佐賀大学理工学部
-
後藤 貞浩
パイオニア株式会社研究開発本部PDP開発センター第一開発部
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