電子ビーム蒸着による複合酸化物薄膜のac形プラズマディスプレイ用保護層としての評価に関する研究
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概要
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We measured ion-induced secondary electron yield, XRD, and EPMA analysis for oxide compounds including Mg to evaluate the suitability of oxide compounds as protective materials for ac PDPs. The vacuum evaporated thin films of oxide compounds do not retain their original composition on the substrate.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2004-12-01
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