対称な特性を持つWLPクリップ型インダクタ(マイクロ波一般/ミリ波技術,マイクロ波シミュレータ,ミリ波技術,一般)
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概要
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WLP技術により実現されたインダクタでは,厚い誘電体層ならびに低抵抗銅配線を用いるため高いQ値が実現できるが,Q値の非称性が測定端子位置に関して生ずるという欠点がある.今回,解析ならびに測定の結果,この非対称性はアンダーパス配線の位置に起因することを見出した.そこで,アンダーパス配線の位置を入出力の両端子から等距離とすることによりQ値の非対称な特性を改善したシンメトリックインダクタを提案し,試作評価を行った結果,本方法が有効であることが確認できた.
- 2007-08-29
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