Survival Probability of an Excited Al Atom in the 4s^2S_<1/2> State Sputtered from an Al Surface under Ar^+ Bombardment
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概要
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The degree of electron-tunneling interaction between an excited Al atom in the 4s^2S_<1/2> state and an Al surface was investigated by optical spectroscopy. Excited Al atoms near an Al surface suffer, to some extent, from being ionized due to resonance ionization. In conjunction to the phenomena, mean velocities of excited Al atoms in the 4s^2S_<1/2> state sputtered from an Al surface by Ar^+ bombardment were measured by observing line-intensity decay of the resonance line (396.152nm, 4s^2S_<1/2> → 3p^2P^○_<3/2>) as a function of distance from the target surface in projectile energy ranging 30 to 75keV. The result was analyzed by Thompson-Sigmund energy distribution multiplied by the survival-probability function. We obtained 4.0 × 10^4m/s for the survival coefficient of the 4s^2S_<1/2> state of Al atom at 1.2 × 10^<-7> Torr of oxygen pressure. [DOI: 10.1143/JJAP.41.826]
- 社団法人応用物理学会の論文
- 2002-02-15
著者
-
TSURUBUCHI Seiji
Department of Applied Physics,Tokyo University of Agriculture and Technology
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Tsurubuchi Seiji
Tokyo University Of Agriculture And Technology Faculty Of Technology
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Tsurubuchi Seiji
Department Of Applied Physics Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technology
-
NIMURA Tomoaki
Department of Applied Physics, Faculty of Technology, Tokyo University of Agriculture and Technology
-
Nimura Tomoaki
Department Of Applied Physics Faculty Of Technology Tokyo University Of Agriculture And Technology
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