傾斜対向ターゲット型DCマグネトロンスパッタ法により有機基板に被覆したITO薄膜の光学的および電気的特性に及ぼすスパッタガス圧およびワーク電圧の影響

スポンサーリンク

概要

著者

関連論文

もっと見る

スポンサーリンク