216 対向型DCマグネトロンスパッタ法による低温ITO薄膜の作製について(G.S. 計測・評価)
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概要
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- 一般社団法人日本機械学会の論文
- 2000-10-17
著者
-
村上 理一
徳島大学工学部機械工学科
-
呉 静波
徳島大学・院
-
村上 理一
徳島大・工
-
金 允海
韓国海洋大学校海洋材料工学科
-
金 允海
韓国海洋大学校工部
-
近藤 正春
徳島大学工学部機械工学科
-
呉 静波
徳島大・院
-
近藤 正春
徳島大・工
-
金 允海
韓国海洋大学
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