316 傾斜対向型DCマグネトロンスパッタ法による室温でのITO薄膜の製作(薄膜の創成と特性評価-I)(一般セッション)

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概要

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• 社団法人日本材料学会の論文
• 2003-05-16

著者

• 米倉 大介

  徳島大学工学部機械工学科

• 村上 理一

  徳島大学工学部機械工学科

• 辛 道勲

  徳島大学大学院

• 米倉 大介

  徳島大学 工学部機械工学科

• 辛 道勲

  徳島大学院

• 村上 理一

  徳島大学工学部

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