24aYM-4 配線用Cu薄膜中の格子欠陥の陽電子消滅法による同定(格子欠陥・ナノ構造,領域10(誘電体, 格子欠陥, X線・粒子線, フォノン物性))

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概要

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• 社団法人日本物理学会の論文
• 2005-03-04

著者

• 荒木 秀樹

  阪大工

• 水野 正隆

  阪大工

• 白井 泰治

  Graduate School Of Engineering Kyoto University

• 大西 隆

  神戸製鋼

• 白井 泰治

  阪大工

• 水野 正隆

  阪大院工

• 木原 照夫

  阪大工

• Araki H

  Dakin Ind. Ltd. Osaka Jpn

• Araki Hideki

  Department Of Materials Science And Engineering Osaka University

• 荒木 秀樹

  大阪大工

• 大西 隆

  神戸製鋼材料研

• 逸見 義男

  神戸製鋼材料研

• Araki H

  Osaka Univ. Suita Jpn

• Shirai Yasuharu

  Dep. Of Materials Sci. And Engineering Kyoto Univ.

• Araki Hideki

  Graduate School Of Engineering Osaka University

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