多重ドットSi単電子トランジスタにおける周期的なクーロン振動(多量量子ドットと機能性)
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概要
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単電子トランジスタ(SET)は超低消費電力を実現する次世代のデバイスとして期待されている。特にSi SETは現在までに蓄積したSi集積化技術の実績を利用できるメリットを持っている。しかしながら現状では室温で安定的なSET動作を実現する事は容易ではない。そこで我々は高温動作の点で有利と考えられる、多重ドットをもつSi SETを作製し電気特性を調べた。特にゲート電圧に対して周期的なドレイン電流(クーロン振動)を示したものに注目して、得られた結果を報告する。作製したドットにはある程度のばらつきあると考えられるにもかかわらず周期的な振動が得られた理由とその物理的な解釈についても報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2006-01-19
著者
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