傾斜ビーム全反射型受光素子(TBR-PD)の波動光学的設計
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概要
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傾斜ビーム全反射型受光素子(TBR-PD)内を伝搬する光を波動光学的に取り扱い,素子の光学特性を解析した.その結果,TBR-PDでは全反射を利用するため通常のPDと比較してコンタクト層での光吸収などの光損失を抑圧できるので受光感度を大幅に改善することが可能であることを明らかにした.また,本解析による設計に基づき試作したTBR-PDの受光感度の測定値は設計値とよく一致し,本設計手法が本素子の設計に有用であることがわかった.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-10-01
著者
-
佐々木 雄一
アンリツ株式会社技術統轄本部研究所
-
吉田谷 弘明.
アンリツ株式会社r&dセンター
-
平岡 淳
アンリツ株式会社r&dセンター
-
河野 健治
Nttフォトニクス研究所
-
河野 健治
アンリツ株式会社r&dセンター
-
河野 健治
アンリツ株式会社デバイス事業推進部
-
吉田谷 弘明
アンリツ株式会社R&Dセンター
-
阿部 美紀
アンリツ株式会社R&Dセンター
-
阿部 美紀
アンリツ株式会社r&dセンター
-
河野 健治
Ntt 光エレクトロニクス研
-
河野 健治
アンリツ株式会社光デバイスR&Dセンター
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