Zn拡散濃度プロファイルの理論的及び実験的検討
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概要
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III-V族半導体へのZn拡散濃度プロファイルを光導波路解析法の一種である陰的有限差分ビーム伝搬法(FD-BPM)を用いて計算し,計算結果と実験値の比較を行った.また,計算時間,解の安定性の点で陽差分法との比較を行った.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-07-25
著者
-
河野 健治
Nttフォトニクス研究所
-
河野 健治
アンリツ株式会社r&dセンター
-
河野 健治
アンリツ株式会社デバイス事業推進部
-
川面 英司
アンリツ株式会社光デバイスR&Dセンター
-
水野 和雄
アンリツ株式会社技術統轄本部研究所
-
内田 靖二
アンリツ株式会社技術統轄本部研究所
-
川面 英司
アンリツ株式会社デバイス事業推進部
-
河野 健治
Ntt 光エレクトロニクス研
-
河野 健治
アンリツ株式会社光デバイスR&Dセンター
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