Effect of Oxide Precipitate Sizes on the Mechanical Strength of Czochralski Silicon Wafers
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1997-12-15
著者
-
NAKATSUKA Masahiro
Department of Laser Power Photonics, Institute of Laser Engineering, Osaka University
-
Sueoka Kazuhisa
Nanoelectronics Laboratory Graduate School Of Engineering Hokkaido University
-
Nakai M
Institute Of Laser Engineering Osaka University
-
Akatsuka M
Corporate Research And Development Laboratories Sumitomo Metal Industries Limited
-
Katahama Hisashi
Advanced Technology Research Laboratories, Surnitomo Metal Industries, Ltd.
-
AKATSUKA Masanori
Advanced Technology Research Laboratories, Sumitomo Metal Industries Limited
-
SUEOKA Koji
Advanced Technology Research Laboratories, Sumitomo Metal Industries Limited
-
ADACHI Naoshi
Research and Development Center, Sumitomo Sitix Corporation
-
Katahama H
Advanced Technology Research Laboratories Sumitomo Metal Industries Limited
-
Adachi Naoshi
Research And Development Center Sumitomo Sitix Corporation
-
Katahama Hisashi
Advanced Technology Research Laboratories, Sumitomo Metal Industries Limited
-
Akatsuka Masanori
Department of Laser Power Photonics, Institute of Laser Engineering, Osaka University
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