Plasma-Induced Damage Behavior in GaAs by Photoreflectance Spectroscopy
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概要
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- 社団法人応用物理学会の論文
- 1993-12-30
著者
-
和田 健司
大阪府立大学 大学院工学研究科
-
Wada K
Osaka Prefecture University
-
Wada Kazumi
NTT LSI Laboratories
-
NAKANISHI Hideo
NTT LSI Laboratories
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