第1章 序言(<講座> プラズマ装置の真空工学 : 排気技術I)
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概要
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In a series of the present lectures, the vacuum pumping technologies in numerous plasma devices are reviewed. The lectures involve basic pumping systems and vacuum gauges, pumping technologies of fusion devices, ion sources, plasma CVD device and so on. It is important to understand the required degree of vacuum, the size of vacuum chamber, the gas species employed and existence of magnetic field in such devices.
- 社団法人プラズマ・核融合学会の論文
- 1995-07-25
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