41万画素PtSiショットキー型赤外線CCDイメージセンサ(<論文小特集>(固体撮像とその関連技術))

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概要

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標準テレビジョンフォーマットでは, 最高画素数である811×508画素PtSiショットキー型赤外線CCDイメージセンサを開発した.1μmのデザインルールを採用し, 画素サイズ18×21μmで開口率は38%である.PtSiショットキダイオードの光電変換特性を向上させるとともに, ガードリング形式方法を最適化して実効開口率を大きくし, さらに, エピタキシャル層の採用や受光部上のアルミニウム反射膜の平板化を図り, 感度と感度の均一性を向上させた.また, CCDの埋込みチャンネルの形成方法を工夫し, 転送効率の改善を行った.その結果, f/1.2のコールドシールドを用い, 300Kの黒体炉を観察した時のNETDは, 0.06Kであり, 感度バラツキ0.45%rmsを達成した.
1995-02-20

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