光読出し-BM形赤外線センサ(<論文特集>イメージセンシング技術)

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概要

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• An optically readable bi-material infrared detector has been developed. In this paper, the basic operating principle of this detector, the structure of the test device, and the optical read-out system are described. The thermal-bending property of the test device is also reported. We measured the infrared responsivity of this detector. A noise equivalent temperature defference (NETD) of 0.25 K was obtained with the test device, which had an element size of 75 μm ×75 μm.

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 2001-02-20

著者

• 赤川 圭一

  株式会社ニコン

• 鈴木 純児

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

• 風間 常行

  株式会社ニコン技術開発本部デバイスセンター

• 石津谷 徹

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

• 赤川 圭一

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

• 石津谷 徹

  株式会社ニコン コアテクノロジーセンター 要素技術開発部

• 風間 常行

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

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