光読み出し-BM型赤外線センサ
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概要
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We succeeded the detection of infrared radiation with the optically readable bi-material infrared detector that was already proposed as one of the uncooled type infrared detector. This paper reports the principle and structure of this detector. Experimental results of thermal bending property and infrared responsivity of the test device are also reported. NETD of 0.25K was obtained with the test device having 75 square micron unit pixel.
- 社団法人映像情報メディア学会の論文
- 2000-02-25
著者
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鈴木 純児
株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部
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風間 常行
ニコン
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鈴木 純児
ニコン
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石津谷 徹
株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部
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石津谷 徹
ニコン
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赤川 圭一
ニコン
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赤川 圭一
株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部
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風間 常行
株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部
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