5万画素 光読み出し-BM型赤外線センサ

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概要

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• 画素サイズが55μm、画素数が266×194画素の「光読み出し-BM型赤外線センサ」を試作した。「光読み出し-BM型赤外線センサ」とは、赤外線エネルギーの吸収による赤外線吸収体の温度変化を、熱膨張係数の異なる2種類の薄膜を重ねて形成したバイマテリアル梁の湾曲の曲率変化に換算し、その曲率変化を光学的に検出するセンサである。本論文で、我々はこのセンサの特性評価を行った。また、バイマテリアル梁の曲率変化を可視光の強度変化に変換する読み出し光学系を用い、さらに画像処理を加えることにより、人物の赤外線撮像に成功した。

• 社団法人映像情報メディア学会の論文
• 2001-02-23

著者

• 赤川 圭一

  株式会社ニコン

• 鈴木 純児

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

• 風間 常行

  株式会社ニコン技術開発本部デバイスセンター

• 石津谷 徹

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

• 赤川 圭一

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

• 石津谷 徹

  株式会社ニコン コアテクノロジーセンター 要素技術開発部

• 風間 常行

  株式会社ニコンカンパニーサポートセンターデバイス技術部

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