Ta_2O_5膜を用いた光導波路素子の作製
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概要
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RF2極マグネトロンスパッタ法によりTa_2O_5薄膜導波路を石英ガラス基板上に作製した.スパッタされたTa_2O_5膜は屈折率n=2.11の値を示し, 文献値n=2.2と同様に高い屈折率を持つ.AFM測定により試料表面は非常に平坦であることがわかり, 表面ラフネスは∿2nm程度であった.この表面ラフネスは800℃において1時間熱処理を行うことにより∿20nmへと増大する.プリズムカップリングによりTa_2O_5膜の導波実験を行った結果, 膜厚500nm, 1μmのもので波長λ=633nmにおいて伝播損失-4.7dB/cmを示した.このTa_2O_5膜を用いてフォトリソグラフィにより先端幅2μmの光導波路を作製した.
- 2000-03-06
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