Ta_2O_5膜を用いた光導波路素子の作製
スポンサーリンク
概要
- 論文の詳細を見る
RF2極マグネトロンスパッタ法によりTa_2O_5薄膜導波路を石英ガラス基板上に作製した.スパッタされたTa_2O_5膜は屈折率n=2.11の値を示し, 文献値n=2.2と同様に高い屈折率を持つ.AFM測定により試料表面は非常に平坦であることがわかり, 表面ラフネスは〜2nm程度であった.この表面ラフネスは800℃において1時間熱処理を行うことにより〜20nmへと増大する.プリズムカップリングによりTa_2O_5膜の導波実験を行った結果, 膜厚500nm, 1μmのもので波長λ=633nmにおいて伝播損失-4.7dB / cmを示した.このTa_2O_5膜を用いてフォトリソグラフィにより先端幅2μmの光導波路を作製した.
- 2000-03-06
著者
関連論文
- Kr^+イオン照射によるMnBi薄膜の構造変化と磁気特性制御(光記録,磁気記録)
- CrPt_3規則合金膜を利用したイオン照射型ビットパターンメディア(光記録及び一般)
- CrPt3規則合金膜を利用したイオン照射型ビットパターンメディア(光記録及び一般)
- Kr^+イオン照射によるMnBi薄膜の構造変化と磁気特性制御
- 希土類-遷移金属アモルファス膜の磁気光学カースペクトル
- CrPt_3規則合金膜の垂直磁気異方性と磁気光学効果(光記録及び一般)
- CrPt_3規則合金膜の垂直磁気異方性と磁気光学効果
- Pt/Co積層膜の安定性 : 光磁気記録関連 : 画像情報記録
- アモルファス希土類-遷移金属薄膜の磁気光学効果と磁性
- 光磁気記録の高密度化の展望
- M-TXMによるTbFeCo媒体の記録磁区観察
- 3)元素添加によるPt/Co多層膜の熱安定性向上(画像情報記録研究会)
- 元素添加によるPt/Co多層膜の熱安定性向上 : 画像情報記録
- 元素添加によるPt/Co多層膜の熱安定性向上
- 4)NdGd/FeCo, PrGd/FeCo多層膜の磁気特性(画像情報記録研究会)
- NdGd/FeCo,PrGd/FeCo多層膜の磁気特性 : 画像情報記録
- 希土類鉄族合金及び多層膜の磁気光学スペクトル : 光磁気記録関連 : 画像情報記録
- 26a-PS-27 X線回折によるPd/Co多層膜の構造評価
- Pt/Co光磁気ディスクの高密度記録特性
- Pt/Co光磁気記録媒体 : 画像情報記録
- Kr^+イオン照射によるMnBi薄膜の構造変化と磁気特性制御(光記録,磁気記録)
- CrPt_3規則合金膜を利用したイオン照射型ビットパターンメディア
- CS-8-3 L1_2型CrPt_3合金膜を用いたイオン照射型ビットパターン媒体(CS-8.次世代情報ストレージ技術の動向,シンポジウムセッション)
- AuCo非平衡合金膜とAu/Co人工格子膜の磁気光学スペクトル
- 磁壁振動方式によるGMR磁気センサの高感度化
- GdFe合金垂直磁化膜を用いたGMR膜およびTMR膜
- GdFeCo及び (GdRE) FeCo膜 (RE=Yb, Tm, Er) の磁化ダイナミクス
- ポンプ-プローブ法および強磁性共鳴によるGdFeCo薄膜の磁化ダイナミクス計測
- ポンプ-プローブ法および強磁性共鳴によるGdFeCo薄膜の磁化ダイナミクス計測(光記録,磁気記録一般)
- 希土類/遷移金属多層膜の構造と磁気異方性
- 希土類/遷移金属多層膜の構造と磁気異方性
- Tb/Fe多層膜の構造と磁気異方性
- 28a-PS-21 Tb/Fe多層膜の構造と磁気異方性
- 微小光スポットによる熱磁気記録のシミュレーション
- 微小光スポットによる熱磁気記録のシミュレーション
- 微小光スポットによる熱磁気記録のシミュレーション
- 希土類/遷移金属多層膜の構造異方性シミュレーション
- NdGd/FeCo多層膜の磁気光学効果の積層周期依存性
- NdGd/FeCo多層膜ディスクの記録再生特性
- イオン照射型ビットパターン媒体の現状
- NdGd/FeCo,PrGd/FeCo多層膜の磁気特性
- L1_0 FePtグラニュラー膜のMBE成長とその磁気特性
- L1_0FePtグラニュラー膜のMBE成長とその磁気特性
- L1_0FePtグラニュラー膜のMBE成長とその磁気特性(光記録及び一般)
- L1_0 FePt グラニュラー膜の MBE 成長とその磁気特性(光記録及び一般)
- L1_0FePtグラニュラー膜のMBE成長とその磁気特性
- Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性
- Co/Cu及びPt/Co多層膜における構造と磁気特性のスパッタガス依存性(磁気記録とその展開)
- MBE成膜したPtCo合金膜の磁気異方性と磁気光学効果 (薄膜)
- MBE成膜したCoPt合金膜の構造と磁気異方性および磁気光学特性
- Co/Pt人工格子の面内及び垂直磁気異方性
- 2)Nd系交換結合二層膜の磁気および磁気光学特性(画像情報記録研究会)
- Nd系交換結合二層膜の磁気及び磁気光学特性
- 熱磁気記録過程シミュレーション解析による磁界変調記録の高密度化の検討(光記録及び磁気記録一般)
- 微小光スポットによる高密度熱磁気記録過程のシミュレーション
- 微小光スポットによる高密度熱磁気記録過程のシミュレーション (光記録・情報記録材料,一般)
- 微小光スポットによる高密度熱磁気記録過程のシミュレーション (光記録・情報記録材料,一般)
- CoFeB / MnIr膜の交換結合
- GdFeCoフリー層を用いたCPP-GMR素子におけるスピン注入磁化反転と層間結合
- 磁壁振動方式によるGMR磁気センサーの高感度化
- MBE成膜したCo-PtおよびFe-Pt規則合金膜の構造と磁気特性
- 熱磁気記録過程シミュレーション解析による磁界変調記録の高密度化の検討
- 熱磁気記録過程シミュレーション解析による磁界変調記録の高密度化の検討
- Pt/Co多層膜の磁気光学スペクトル
- 貴金属-遷移金属合金, 交換結合二層膜の磁気異方性と磁気円二色性
- 貴金属-遷移金属合金,交換結合二層膜の磁気異方性と磁気円二色性(高密度磁気ストレージ材料 : 開発の現状・未来と解析技術)
- 29a-J-6 希土類/Fe多層膜のX線磁気円二色性
- 希土類/Fe多層膜の垂直磁気異方性とX線磁気円二色性
- 希土類/Fe多層膜の垂直磁気異方性とX線磁気円二色性
- 希土類/Fe多層膜の垂直磁気異方性とX線磁気円二色性
- 希土類/遷移金属多層膜の構造と磁気異方性
- 6a-PS-133 Tb/Fe多層膜におけるMCDスペクトル
- MBE成長したAu/Co/Au及びPt/Co/Ptサンドウィッチ膜のSTM観察
- Pt/Co及びRh/Coサンドウイッチ膜の磁気異方性
- Pt/Co/Ptサンドウイッチ膜の構造と磁気異方性
- NiFeを挿入したa-CoFeBスピンバルブ
- FeCoNi体心立方合金膜を用いたスピンバルブ膜の巨大磁気抵抗効果
- Fe/Pt人工格子膜のSTM観察と垂直磁気異方性
- MBE成長したPt/Fe多層膜のSTM観察と垂直磁気異方性
- bcc-FeCoNi/NiO二層膜の交換結合
- 交換結合したNiFe/NiO/CoPt積層膜の磁化過程
- 希土類-(FeCo)膜の磁気光学効果
- アモルファス軟磁性膜を用いたサンドイッチ膜のGMRと電気伝導
- アモルファススピンバルブ膜におけるNiO層と種々の磁性層との交換結合
- NiFeCo/Cu人工格子のGMRのアニーリング特性
- 温度・磁界勾配を利用した熱磁気記録のシミュレーション解析
- Ta_2O_5膜を用いた光導波路素子の作製
- Ta_2O_5膜を用いた光導波路素子の作製
- Ta_2O_5膜を用いた光導波路素子の作製
- CrPt_3規則合金膜の垂直磁気異方性と磁気光学効果
- CrPt_3規則合金膜の垂直磁気異方性と磁気光学効果
- 磁気X線顕微鏡による光磁気記録磁区の高分解能観察
- Tb/Fe多層膜の構造異方性
- RE/TM多層膜の磁気光学特性及び垂直磁気異方性
- 後方拡大型光磁気記録媒体における磁区拡大再生の機構
- Pt/Co光磁気ディスクの磁界感度特性についての検討
- 超高密度光磁気記録調査専門委員会における調査活動の総括
- NdGd/FeCo多層膜ディスクの記録再生特性
- NdGd/FeCo多層膜の光磁気記録特性
- 磁界変調熱磁気記録における微小磁区形成過程のシミュレーション