元素添加によるPt/Co多層膜の熱安定性向上
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概要
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Pt, Co多層膜に種々の元素を添加し、その熱安定性をアニール実験により調べた。BやZnを添加したものでは垂直磁気異方性がアニール前では増加したものの、400℃、30minのアニール後では大きく減少した。これに対してTiやSiを添加したものでは、アニール後も垂直磁気異方性の低下は少なく角型比も1のままであった。電子顕微鏡による観察によれば、Ti添加により結晶が微細化するとともにアニールによる結晶成長が抑えられていることがわかった。TiやSi添加は,Pt/Co多層膜の熱安定性向上にとって有効な方法である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-02-24
著者
-
綱島 滋
名古屋大学大学院工学研究科
-
綱島 滋
名古屋大学
-
虎沢 研示
三洋電機
-
鷲見 聡
三洋電機(株)ハイパーメディア研究所
-
内山 晋
愛知工大
-
内山 晉
名古屋大学工学部
-
虎沢 研二
三洋電機 ハイパーメディア研
-
樟本 靖幸
三洋電機(株) ハイパーメディア研究所
-
樟本 靖幸
三洋電機
-
鷲見 聡
三洋電機(株)
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