Pt/Co積層膜の安定性 : 光磁気記録関連 : 画像情報記録
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概要
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Pt/Co積層膜の勲安定性と耐候性を調べた。熱安定性は、下地層に多結晶のPtとZnO、アモルファスのAlNとガラス(下地層なし)を用いた配向性の異なるPt/Co積層膜のアニールを行い調べた。アニールは、真空中(2×10^<-4>Torr以下)で行い、アニール温度は400℃max、アニール時間は30分とした。PtやZnO下地層上のPt/Co積層膜は高い熱安定性を示し、特に、ZnO下地層のものは400℃アニール後も完全な角形を示した。耐候性は、65℃一85%RHと80℃一85%RH雰囲気中でのC/NとBLERの経時変化から評価した。その結果、Pt/Coディスクが単純な構造でも信頼性に問題ないことがわかった。
- 1993-03-28
著者
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綱島 滋
名古屋大学大学院工学研究科
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内山 晋
名古屋大学工学部
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綱島 滋
名古屋大学
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内山 晋
名古屋大学
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内山 晋
愛知工業大学
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鷲見 聡
三洋電機(株)ハイパーメディア研究所
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内山 晋
愛知工大
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樟本 靖幸
三洋電機(株) ハイパーメディア研究所
-
寺垣 靖子
三洋電機(株)
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樟本 靖幸
三洋電機
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鷲見 聡
三洋電機(株)
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