Fe-Co系高飽和磁化膜の軟磁気特性(<特集>磁性薄膜及び一般)
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概要
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2.2T以上の高い飽和磁束密度を有する磁気記録ヘッド用軟磁性材料としてFe-Co系材料を検討した。微量のAl_2O_3の添加と軟磁性下地膜を組み合わせることで、2.4Tの高い飽和磁束密度を保ったまま、良好な軟磁気特性が、広い膜厚範囲で得られることがわかった。特に、Fe-Co-Al-O膜では、Ni-Fe下地膜を用いることで、50〜500nmの膜厚に対して10e以下の保磁力が得られた。また、非晶質のCo-Zr-Nb軟磁性下地膜もFe-Co系薄膜の軟磁気特性の改善に有効である。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 2002-08-30
著者
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