A-11-8 微傾斜基板上に成膜したAIN/Al_2O_3構造SAWデバイス特性
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概要
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- 1999-08-16
著者
-
坪内 和夫
東北大学電気通信研究所
-
苫米地 秀一
東北大学電気通信研究所
-
益 一哉
東北大学電気通信研究所
-
三枝 茂人
東北大学電気通信研究所
-
和田 一彦
東北大学電気通信研究所
-
和田 一彦
シャープ株式会社
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