空気中試料観測用電子顕微鏡の可能性
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概要
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電子ビームは、現在多数の分野で利用されている。その応用分野には工業製品の加工や分析機器などがあるが、これらにおいて最も厄介な問題は試料付近を高真空にしなければならないことである。この不便さが電子ビームの多くの用途を制限している。 例えば、生体試料の観測においては試料を高真空に置くことにより水分が蒸発し、試料自体もその様子が変化し、自然なままの観測が不可能になるなどである。そこで我々は、空気中で電子ビームを利用する方法を提案する。本報は、その可能性をディジタルシミュレーションによって検討した結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1994-09-26
著者
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