空気中における電子ビーム分析機器の検討
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概要
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現在、電子ビームは、工業製品の加工や成分分析機器など多数の分野で利用されている。従来電子ビームを利用するには、その対象物を真空中に置くことが前提であった。しかし現在、工業分野などでは電子ビームを空気中に取り出して使用することも少なくない。我々は前報で電子ビーム応用として空気中で試料観察できる分析機器の可能性を報告した。本報では電子取り出し窓や空気層による電子の散乱や電子ビームの拡がりの程度について詳細に調べた結果を報告する。
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-03-27
著者
-
小寺 正敏
大阪工業大学
-
菅 博
大阪工大
-
趙 剛
大阪工業大学工学部電子工学科
-
菅 博
大阪工業大学
-
熊野 秀昭
大阪工業大学工学部電子工学科
-
来島 利幸
大阪工業大学工学部電子工学科
-
来島 利幸
大阪工業大学
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