EB照射装置による電子線の試料表面層吸収線量分布
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概要
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表面層に付加価値の高い産業材料を作るために,300keV以下の低エネルギー電子線(Electron Beam:EB)照射装置の利用が普及している.これらの薄層の吸収線量は,実測が困難なため計算による評価方法の検討が進められている.吸収線量は試料表面への入射電子のエネルギーおよび入射角度に影響されること,極表面の吸収線量は照射電荷フルエンス率に大きく影響されることを実測と計算から見出した.本報告では各種加速電圧における表面層の吸収線量を実測し,電子線の吸収線量分布に及ぼす加速電圧の影響について検討した.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-09-05
著者
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