EB照射装置による300keV電子線の試料表面層吸収線量分布(II)
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概要
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表面改質等付加価値の高い産業材料を作るために,300keV以下の低エネルギー電子線(Electron Beam:EB)照射装置の利用が普及している.ここでは,実測が困難な薄層被照射物の吸収線量について,計算による評価方法の検討が進められている.吸収線量は試料表面への入射電子のエネルギーおよび入射角度に影響されること,極表面の吸収線量は照射電荷フルエンス率に関係することを報告した.本報告では前報に続き,極表面層における吸収線量の計算値と実測値について比較し沈積電荷の影響を検討した。
- 1995-03-27
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