空気中試料観測用電子ビーム分析装置の検討
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概要
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観測試料を空気中に置く形の電子ビーム分析装置を提案している.電子ビームを発生する鏡筒の端に電子透過性のよい薄膜窓を設け,そこから電子ビームを取り出し,空気中に置かれた試料に照射し,形状観察や元素分析を行う装置の実現をめざしている.ディジタルシミュレーションによって,電子取出し窓や空気層における電子の散乱や電子ビームの広がりについて調べ,窓の膜厚や加速エネルギーとビーム径との関係など,設計の際に役立つ種々のデータを示している.
- 社団法人電子情報通信学会の論文
- 1995-12-25
著者
-
小寺 正敏
大阪工業大学
-
菅 博
大阪工大
-
趙 剛
大阪工業大学工学部電子工学科
-
菅 博
大阪工業大学
-
熊野 秀昭
大阪工業大学工学部電子工学科
-
来島 利幸
大阪工業大学工学部電子工学科
-
来島 利幸
大阪工業大学
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